桌上型高速膜厚量測儀
•非破壞式量測方式
•測量速度:小於0.05 s/point
•解析度: 可以在1.0*1.0 mm的微小方形區域測量
•高精確度: 可檢測1nm以下的超薄膜厚
•高再現性: 膜厚: 0.1 nm，折射率: 0.001
•簡易操作: 不採用驅動部分，可減少校正麻煩
•模組化應用: 頭部模組可拆卸，可供應用於其他系統
規格:
•測定方式: PCA
•再現性: 膜厚0.1nm
•光源: 半導體雷射636nm
•量測點(方形)
•線測定:0.5mm
•面測定:0.1mm
•入射角: 標準70度
•檯面大小: 4"
•量測速度(面測定): 最高10000點/分
•尺寸: 258*300*235mm
•重量: 9Kg
•配件: PC
