產品資訊

超高速膜厚橢偏儀

全自動超高速膜厚量測儀
全自動超高速膜厚量測儀

非破壞式量測方式
透明基板可以量測
高速量測: 每分鐘測量1000點以上
高解析度: 可以在5.5*5.5μm~0.5*0.5 mm的微小方形區域測量
高精確度: 可檢測1nm以下的超薄膜厚
高再現性: 膜厚: 0.1 nm,折射率: 0.001
多變焦功能: 可以從整體晶圓測量,到局部測量皆可,可以依客戶自由指定測量區域
強大分析工具: 任意兩點的膜厚分佈線圖表,任意區域的膜厚平均值和標準偏差之計算

桌上型高速膜厚量測儀
桌上型高速膜厚量測儀

非破壞式量測方式
測量速度:小於0.05 s/point
解析度: 可以在1.0*1.0 mm的微小方形區域測量
高精確度: 可檢測1nm以下的超薄膜厚
高再現性: 膜厚: 0.1 nm,折射率: 0.001
簡易操作: 不採用驅動部分,可減少校正麻煩
模組化應用: 頭部模組可拆卸,可供應用於其他系統