CCD像素: 1360*1024 pixels
LED光源: 红(630nm)、绿(530nm)、蓝(460nm)、白(550nm)
Z轴行程: 40mm
Z轴测量范围:PSI 20μm，ePSI 100μm，VSI 10mm，共轭焦 10mm，多焦面迭加 37mm
Z轴线精度:0.5μm/mm
Z轴分辨率:2nm
台阶高度重复性:0.1%
台阶精度:0.5%
样品反射率:0.05%~100%
显示分辨率:0.001nm 倍率: 共轭焦2.5X~150X 白光干涉2.5X~100X
XY手动移动台行程:200*200mm / 300*300mm / 500*500mm
气浮式光学防震工作桌